プロセス質量分析計 MGAシリーズ

mga1200

プロセス質量分析計MGAシリーズの基本技術は、宇宙開発を目的にNASAとの共同開発で生まれたものです。この小型の磁場型質量分析計は惑星探査衛星にも搭載され、その信頼性は高く評価されております。MGAシリーズはその優れた技術をベースとして工業用につくられた、小型で堅牢なプロセス用ガス分析計です。
プロセスにおける質量分析法の利用は、プロセス・ガスクロマトグラフ法(PGC法)のうように試料を分離することなく、%レベルの高濃度からppmオーダーの低濃度まで幅広いレンジをカバーする優れた分析法です、しかもPGC法に比べ短時間に測定が可能です。このシステムをプロセス分析装置として応用することで多成分連続同時分析高速・高精度・高信頼性で測定が実現できます。

MGAシリーズの特徴

■ 磁場セクター方式による堅牢構造
磁場型装置の特徴でもある堅牢な構造は、外乱の影響を受けずに安定した測定を実現します。
■ 高い長期安定性
四重極型装置の数倍から数十倍の安定性。一度のセッティングで1年以上無調整で動作可能です。
■ 長寿命ターボ分子ポンプによる排気系
ほぼメンテナンスフリーのターボ分子ポンプの採用で、長期期間安定して高真空が保たれます。
■ 二つの無磁化型フィラメントの長寿命イオン源
2万時間以上の寿命を持つフィラメントを2重化して搭載し、信頼性を確保しています。
■ ソフトウェアによる自動校正
ソフトウェアにより自動キャリブレーションが可能で常に高い測定精度を保証します。
■ 外部通信機能搭載
シリアル(RS-232C)やMODBUS通信、あるいはアナログ出力に対応し外部機器と通信します。
■ マルチプルストリーム対応
ストリーム切替え機能を搭載し、応用範囲を拡大できます。

MGAシリーズ・ラインアップ

MGA 1200型

mga1200・ 磁場固定型のマルチ検出器方式の光学系採用
・ 高速測定
・ 高安定性

MGA 1600型

mga1600・ 磁場スキャン型分光器搭載
・ 幅広い種類のガスに対応
・ 高い汎用性と広い応用範囲

MGA I-SCAN型

mgaiscan・ コンパクトな二重収束型光学系を搭載
・ 高精度・高感度に対応した分析計


 

代表的測定対象ガス

MGAシリーズでは、多くの種類の無機・有機のガス測定に対応が可能です。
下記の表にその代表的なガス成分を示します。

・水素 ・硫化水素 ・ヘリウム ・メタノール
・酸素 ・メタン ・アルゴン ・アンモニア
・水 ・アセトン ・エチレンオキサイド ・アセチレン
・窒素 ・エタン ・酸化窒素 ・塩化水素
・エチレン ・プロパン ・一酸化炭素 ・その他
・二酸化イオウ ・プロピレン ・エタノール
・二酸化炭素 ・ニ塩化エチレン ・塩化ビニール

応用例

プロセスMSの応用できる分野は非常に広範囲です。これまでにも数多くの分野で利用されてきております。
以下は実際に利用されている分野の一例です。

・空気分離プロセス ・塩ビモノマープロセス ・水素精製・回収プロセス
・触媒研究 ・半導体製造工程ガス分析 ・メタノールプロセス
・エチレンプロセス ・燃料電池開発 ・高炉転炉ガス分析
・バイオ醗酵プロセス ・液化炭素プロセス ・リーク検出
・液化天然ガスプロセス ・エチレンオキサイドプロセス