Raman RXN1顕微鏡システム

ケースに入ったコンパクトなRXN1顕微鏡システム

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ファイバープローブヘッドを光学顕微鏡に取りつけたカイザー社のマイクロプローブ 顕微鏡システムは、本体と顕微鏡をファイバーのみで接続しているため振動に強く、設置場所もとりません。顕微鏡測定は、異物、局在化した欠陥、シミなどの微小領域の測定に極めて有効な手段で、高分子化学、触媒、生物、地質学、薬学そして半導体など幅広い分野で利用できます。

コンフォーカル設計

ラマンマイクロプローブはコンフォーカルな設計になっているため、焦点位置以外のスペクトルに多く影響されず、非破壊で目的物の測定を行うことが可能です。

HoloMap イメージング(マッピング)測定

HoloMapはマッピングソフトウェアで、性能なXYZステージを使用し、画面で試料の状態を確認しながら測定点をメモリーしてのランダムマッピング、測定エリアを指定してのエリアマップ、深さ方向の測定をするZ軸マップなど多くのマッピング操作が行えます。
測定後は画像内部で表示を希望する位置をクリックするだけで、その場所のラマンスペクトルを表示できます。3Dのケミカルイメージングへの対応できます。

01-1上記のサンプルは2種類のポリマーとアスピリンの擬似的な錠剤で、マッピング測定の後、それぞれの成分にPCA処理をし、成分ごとに色分けをした結果です。右上は多層フィルムのマッピング測定で2ミクロンの層が他のピークと重ならず測定できていることがわかります。

02ハイスループットシステム   RAMAN RXN1  HTS

顕微鏡ステージへ設置できるWellPlate

顕微鏡ステージへ設置できるWellPlate

RamanRXN1 MicroProbeやModular System Microprobeにウェルプレートリーダー用ステージを取り付けることでRamanRxn1 HTSハイスループットシステムにすることができます。測定対象は製薬の探索、コンビナトリアルケミストリーやハイスループットのプロセス開発になります。このシステムは自動測定により分析のスピードを速めることで、ポテンシャルを持った重要な化合物の数をより多く見つけることができます。

ラマンは赤外と同様な分子情報を得られます。しかも試料調整、特別なセルの用意をすることなく測定が行える特長を持っており、従来の手法に比べて優位性をもっています。HoloPlex は全ての波長を高い分解能で同時に測定できる為、その有利性により定性、定量をより早く正確に行えます。

04-1HTS専用のソフトウェア(HoloWell)

・48、96穴Wellplateをサポートしています。(Hellma社P/N 730.0009.QG)
・標準以外のWellplateの全自動測定も可能
・全自動測定(オートファーカス機能も標準)
・測定結果のグラフィカルな出力機能
・スペクトルの四則演算   ピーク面積計算、ピークシフトを利用しての解析
・クラスター解析もサポート

応用例

シリコンウェハー上の異物

05-1左のスペクトルは532nmRXNマイクロプローブのコンフォーカルシステムで測定したスペクトルです。
写真は半導体(シリコン)でマッシュルーム状の約1ミクロンの欠陥を顕微鏡で観察したものになります。測定したスペクトルを参照スペクトルと照合したところ、リン酸ホウ素であることがわかりました。RXNマイクロプローブでは顕微FT-IRでは測定出来ない微小な試料を測定することが可能です。

コンタミナント分析

07石英中にある液体浮遊物を測定した例になります。

RXNマイクロプローブを使用すること浮遊物が水であることが分かりました。ラマン顕微鏡では非破壊で浮遊物の測定をすることができます。

PET フィルムの深さ方向分析

06-1150ミクロンのPETフィルムをエッジより5ミクロンごと測定。1000cm-1と1096cm-1に着目すると、表面と裏の表面との間で変化をしているのがわかりました。

カイザー社のコンフォーカルなRXNマイクロプローブにより、試料の壊すことなく深さ方向のプロファイルを作成することができます。

カーボンナノチューブの測定

10150ミクロンのPETフィルムをエッジより5ミクロンごと測定。1000cm-1と1096cm-1に着目すると、表面と裏の表面との間で変化をしているのがわかりました。カイザー社のコンフォーカルなRXNマイクロプローブにより、試料の壊すことなく深さ方向のプロファイルを作成することができます。

ラマンのガス分析

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ラマンではガス分析も行えます。右の例は部品を傷つけることなく非破壊で部品中のガスを測定し、良品と欠陥品を区別した例となります。シールをはずして測定すると空気中の酸素が入り測定が出来なくなります。
この測定では5番目のチップのラマンスペクトルにO-Oの伸縮振動のピークが有り欠陥品と判別できました。

結晶多形の同定

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上図は鎮痛剤に使用されるパラセタモールのFormⅠの結晶です。RXNマイクロプローブによるラマン顕微鏡測定では試料の温度を変化させて画像を得るのと同時に全領域での測定を行うことができます。右図は温度によって変化する3つのFormをラマンで測定したものです。